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沙崙綠能科技示範場域

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研發技術

水平式掃描鍍膜技術

創能

可工服委託

技術特色

●高磁場旋轉靶設計：擁有900高斯的AC圓柱濺鍍源，另採用內磁場控制設計，有助於降低濺鍍離子轟擊，進而提升薄膜品質；利用旋轉型圓柱靶材，可顯著增加靶材使用率。

應用服務

水平式掃描鍍膜技術

示範場域太陽能即時發電資訊(更新時間:2024/05/05 23:00): 411.746 kW

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